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瑞鉌科技有限公司
使用RAT系列精密對位平台
偕同 財團法人金屬工業研究發展中心 & 承鈞企業有限公司
共同開發之晶圓精密對位系統

精密度規格
對位精度 ≦ 1μm
精密對位速度 ≦ 4 sec

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